五河多级泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，依靠的旋转在获取离心力，五河多级泵是的一种。五河多级泵按结构可以分为很多种，每种结构原理都不一样。
一、余摆线式
在五河多级泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。泵的动平衡性好，所以运转较平稳、振动亦小，转速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，适合发展为大抽速的机械五河多级泵。由于吸气管路短而粗，有利于提高五河多级泵低压力下的抽速。
二、定片式
定片式五河多级泵在内装有一个与五河多级泵内表面靠近的偏心转子，上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将五河多级泵腔分成两个可变容积。定片式五河多级泵抽速较小，有单级、双级之分，泵的极限真空可达10-1Pa。五河多级泵的结构简单、使用寿命较长和检修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已经很少生产和应用。
三、旋片式
旋片式五河多级泵转子以一定的偏心距装在多级内并与内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。旋片式泵属于低五河多级泵。它可以单独使用，也可以作为其他高或超高五河多级泵的前级泵。旋片五河多级泵多为中小型泵，产品已经系列化。旋片泵有单级和双级两种，一般多做成双级的，以获得较高的泵度。旋片五河多级泵绝大多数是单工作腔结构，常用两个径向滑片，也有用三个斜置滑片的。贯穿滑片五河多级泵也有应用。
四、滑阀式
滑阀式五河多级泵在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把五河多级泵腔分成两个可变容积。滑阀式五河多级泵的抽气原理与旋片泵相似，但两者结构不同。滑阀式泵是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的，故称滑阀五河多级泵。
五、多级喷射泵
常单级喷射器的由两个或两个以上的喷射器和冷凝器串联组成，称为多级喷射泵。冷凝器的作用是将混合物中的可凝性蒸汽部分凝结排除，以减少下级喷射器的负荷。
冷凝器安装在 级喷射器入口前，主要为了减少 级泵的负荷。只有当被抽混合物中含有大量的可凝性蒸汽，并且其蒸汽分压强大于冷却水温所对应的饱和蒸汽压时方可使用。中间冷凝器安装在五河多级泵中间，具体位置应视进入冷凝器的混合物中的蒸汽分压强及冷却水温而定，其作用是减少下级泵的负荷。后冷凝器安装在末级喷射器之后，主要是为了消除末级喷射器的废气、噪声，有时用来回收未级喷射器的余热
